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探测器

TESCAN 的 SEM 和 FIB-SEM 系统提供多种自有或第三方探测器可供选择，以满足您在研究和应用中的特殊分析需求。为此，每一款扫描电镜上都配备有大量接口以方便配置各类探测器。 
当电子在扫描电镜中（或离子在 FIB-SEM 中）被加速到在几个 eV 至 30 keV，这些带电粒子撞击在样品表面与最表层材料相互作用，发生一连串弹性和非弹性碰撞，产生各种信号，例如二次电子( SE )、背散射电子( BSE )、X射线和阴极荧光( CL ) 。在双束电镜系统中，还可以收集二次离子( SI )信号。每个信号都是不同物理过程产生的结果，携带从样品不同深度产生的有价值信息。