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等离子清洗器

对于使用低能量电子束(< 5 keV)或光束减速模式的应用来说，等离子清洗器是必不可少的选择。
成像过程中，低能量电子束与含碳分子产生反应，在样品表面产生污染层，因为这样沉积的聚合烃层导致低二次电子产率，因此图像变得更暗，干扰了观测。此外，污染层会引起观察区域的结构变化。为了避免这种不必要的影响，强烈建议在样品检查之前使用污染清洗装置来清洁样品室内的不同表面。
等离子清洗器
污染层来自清洁前存在于腔室中的挥发性烃分子

适用领域和机型

细胞&组织形态学 生命科学
玻璃 材料科学
聚合物及复合材料 材料科学
电子束减速技术 探测器
TESCAN MIRA SEM