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束闸

扫描电子显微镜广泛适用于不用类别材料的微观研究（例如金属及其合金、聚合物、陶瓷、生物样品、纳米颗粒、纳米纤维等）。某些应用要求样品仅特定区域暴露在电子束中，而其他区域则不能被电子束轰击。
束闸用于将电子束从电子显微镜镜筒光轴上偏移，从而避免电子束到达样品表面。束闸适用于下列应用：
  • 电子束光刻技术——阻断制造图样中各单个目标之间的光束
  • 敏感性样品——防止其污染或降解，减少荷电现象
TESCAN 提供两种类型的束闸：电磁式和静电式。
  • 电磁式束闸是 TESCAN 电子显微镜的标配项
  • 静电式束闸是选配项
当只使用电磁式束闸时，一些电子仍然可以落在不希望电子轰击的区域。因此，两种束闸结合工作是实现高质量电子束偏转的最佳方法（快速和完整的电子束遮挡）。电子束光刻应用需要使用两种类型的电子束闸。

 
 
束闸
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