TESCAN MIRA

TESCAN MIRA 是最新推出的第四代高性能扫描电子显微镜,配置有高亮度肖特基场发射电子枪,在TESCAN 的 Essence™ 操作软件的同一个窗口中实现了 SEM 成像和实时元素分析。这种结合大大简化了从样品中获取形貌和元素数据的过程,从而使得MIRA 成为质量控制、失效分析和实验室常规材料检测的有效分析解决方案。

突出特点
  • 完全集成的 TESCAN Essence™ EDS 分析平台,可在 Essence™ 软件的同一个窗口中实现 SEM 成像和实时元素分析;
  • TESCAN 独特的无光阑光路设计及实时电子束追踪技术(In-flight Beam Tracing™),可快速获得最佳的成像和分析条件;
  • 独特的大视野光路(Wide Field Optics™)设计,可实现最小放大倍率低至2倍,因而无需额外的光学导航相机,即可轻松、精确的对样品进行导航;
  • 标配的 SingleVac™ 模式,不导电样品或电子束敏感样品无需喷镀即可在此模式下直接进行观察;
  • 直观的模块化 Essence™ 软件,无论用户的经验水平如何,均可轻松操作
  • Essence™ 3D 防碰撞模型,可确保样品台和样品移动时,安装在样品室内探测器的安全性
  • 可选配的镜筒内 SE 和 BSE 探测器,以及电子束减速技术,更好的提升了低电压下的成像性能
  • 标准分析平台,可选配集成最多种类的探测器和附件(如阴极荧光探测器,水冷背散射电子探测器等)
TESCAN MIRA
TESCAN MIRA

产品彩页

MIRA3 Brochure
3rd Generation of MIRA FE-SEMs - Download MIRA3 Brochure!
pdf – 1.1 MB