微机电系统

MEMS，即微机电系统，通常被定义为是一种在硅基板上通过一系列的光刻和化学刻蚀工艺，制备出微型机械和电机的技术。

MEMS 器件的关键物理尺寸跨度很大，高端产品可小至一微米，低端产品可高达几毫米。通讯电路中用于相移与信号转换的微机电开关，和用于重定光路或校正因空气折射或透镜异常引起的畸变的微反射镜是两种典型的 MEMS 器件。MEMS 在我们日常生活中应用广泛，例如车载的气囊和导航传感器，磁盘驱动头，喷墨打印机头，智能手机的定位检测，或者心脏起搏器和血压传感器。

扫描电子显微镜是对 MEMS 进行失效定位和分析的理想工具。
TESCAN 扫描电镜具有高分辨和大景深的优势，是观察形貌复杂的样品（例如 MEMS）的利器。
MAIA3 系列场发射扫描电镜在低加速电压下具有超高的分辨率，可帮助用户检测引起器件失效的微小颗粒和其他污染物。
MIRA3 系列场发射扫描电镜配备高性能的电子镜筒，能够帮助用户检查移动部件或表面冲击对MEMS 造成的裂纹、断裂或其他疲劳和磨损特征。

很多 MEMS 器件都是被安全的封装起来，以保护其内部易碎的元件。
TESCAN Ga 离子源双束电镜系统 GAIA3 和 Xe 等离子源双束电镜系统 XEIA3 都具有超高分辨率，与自动切片（ AutoSlicer ）模块搭配使用，可在 MEMS 器件表面自动切割多个窗口，从而实现后续的高倍率观察。