首页 > 产品 > 双束聚焦离子束扫描电镜 LYRA

LYRA3 XM是一款完全由计算机控制的聚焦离子束场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统(GIS),有高真空和低真空两种模式,其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟、用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

分析潜力

  • XM样品室配置5轴马达驱动全计算机化优中心样品台,完美的几何设计更适合安装能谱仪(EDS)、波谱仪(WDX)、电子背散射衍射(EBSD)
  • 超大样品室配备有大型样品台,可以容纳更大的样品
  • 优化的几何设计的允许更多的接口,更适合安装能谱仪(EDS)、波谱仪(WDX)、电子背散射衍射(EBSD)和其他探头
  • 一流YAG闪烁器式探头
  • 可选各种探头和配件
  • 几分钟即可抽到仪器需要的工作真空
  • 在低真空模式下可以观测不导电的样品,观测磁性样品的效果非常好,EBSD图像无扭曲
  • 内置主动式样品室防振

LYRA3配置

LYRA3 XMH
配有5轴马达驱动全计算机化优中心样品台的超大样品室型号,适用于在高真空模式下分析导电的样品。

LYRA3 XMU
可变真空型扫描电镜,体现了高真空模式和低真空模式的优点,可以在不喷金的情况下利用低真空模式直接观察不导电样品。

标配:

  • 测量
  • 图象处理
  • 3维扫描
  • 硬度测量
  • 多图像校准
  • 对象区域
  • 自动关机时间
  • 公差
  • 编程软件
  • 定位
  • 投影面积
  • EasySEMTM

选配:

根据实际配置和需求
详见技术规格文件
  • 二次电子探头 
  • 背散射电子探头
  • In-Beam SE
  • In-Beam BSE
  • 探针电流测量
  • 压差式防碰撞报警装置
  • 可观察样品室内部的红外线摄像头
  • TOP-SIMS
  • 二次离子探头
等,各种配件可供选择