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机械纳米操作手——SEM/FIB工作平台

作为TESCAN FIB与SEM的选配附件,机械纳米操作手使扫描电子显微镜成为材料处理和分析工作平台。

Left: One manipulator in a LYRA FIB-SEM; Right: Four manipulators in a MIRA XM图:左:LYRA FIB-SEM的一支纳米操作手,右:MIRA XM最多可装4支纳米操作手

纳米操作手的使用既简便又安全快捷:

  • 绝对定位技术提供了可预测的笛卡儿移动和全自动化功能
  • "self finding tools"(自寻工具)技术提供了自动快速和安全的机械手移动
  • "Global Coordinates"(全局坐标)技术保证了SEM与操作手的无碰撞移动
  • "Live Image Positioning"(实时图像定位)技术简化了操作手的移动过程
  • TESCAN整体)解决方案:通过一种控制方法实现SEM和操作手之间的自动化操作
  • 该“SEM/FIB工作平台”能够满足各种应用的要求

SEM/FIB工作平台的应用:

  • 材料科学和取证领域内颗粒的半自动分选
  • 高分辨率下的规模化无损尺寸测量
  • 微型与纳米型设备的磨损学测试(使用寿命、摩擦、应力...)
  • SEM/FIB在纳米加工中的应用:CNT设备、TEM薄片等
  • 纳米探针技术简洁方便又安全
  • 高自动化测量和操作过程适合半导体研发(半导体研发过程中的高自动化测量和操作的应用)

Sem image of structuresFig.1 Left: SEM image of structures on a TFT display,
Fig.2 Right: Dimensional Measurements with the "3D-Nanofinger™"
Fig3. Surface Roughness measurement by 3D-Nanofinger™ inside of the groove.