首页 > 产品 > 钨灯丝扫描电镜 VEGA

VEGA3 XM是一款由计算机控制,可在高低真空模式下工作的全自动钨灯丝扫描电子显微镜,具有突出的光学性能,清晰的数字化图像,成熟的操作软件,用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

分析潜力

  • XM样品室配备有5轴马达驱动样品台
  • 多于12个接口,优化的几何设计更适合安装能谱仪(EDS)、波谱仪(WDX)、电子背散射衍射(EBSD)
  • 一流YAG闪烁器式探头
  • 可选各种探头和配件
  • 涡轮分子泵和机械泵同时工作,几分钟即可达到仪器操作需要的真空状态
  • 在可变真空模式下可观测不导电的样品(XMU型号)
  • 可选样品室减振方式
  • 3维Metrology软件提供了三维重构与3维测量功能

VEGA3配置

XM型号适合观测大样品。

VEGA3 XMH
超大样品室,高真空模式,适用于观测大型导电材料。

VEGA3 XMU
可变真空式扫描电镜,体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品,不需要喷金。


标配:

测量

图象处理

3维扫描

硬度测量

多图像校准

对象区域

自动关机时间

公差

编程软件

定位

投影面积

EasySEMTM


根据实际配置和需求



详见详细技术规格


  • 二次电子探头(SE),ET型二次电子探头(YAG 闪烁体)
  • 可移动式背散射电子探头(RBSE*,可移动环行闪烁体类(YAG)具有高灵敏度和原子序数分辨率(0.1Z
  • 低真空二次电子探头
  • 探针电流测量
  • 压差式防碰撞报警装置
  • 可观察样品室内部的红外线摄像头
  • 冷台

等,各种配件可供选择

vega3 xm

vega3 xm