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S8000G是TESCAN最新S8000系列扫描电镜的第一个新成员,是一款超高分辨双束FIB-SEM系统,它可以提供无与伦比的图像质量,具有强大的扩展分析能力,并能以极佳的精度、效率完成复杂的纳米加工和操作,可满足现今工业研发和学术界研究的所有需求。

S8000G FIB-SEM的优点:

  • 新一代镜筒内电子加速、减速技术,保证了复杂样品的低电压高分辨观测能力
  • 首次配置的静电-电磁复合物镜,物镜无磁场外泄,实现磁性样品高分辨成像及分析
  • 配置4个新一代探测器,可实现9种图像观测,对样品信息的采集更加全面
  • 配置大型样品室,有超过20个扩展接口,为原位观测、分析创造了良好的工作环境
  • 可以配置TESCAN自有或第三方的多种扩展分析附件,并独家实现与TOF-SIMS、Raman联用
  • 新一代操作软件和自动功能,FIB镜筒具有全自动的离子镜筒对中,极大简化了操作

新一代 Orage™ Ga FIB镜筒,适用于各类具有挑战性的纳米加工任务

TESCAN S8000配置了最新的BrightBeam™镜筒,实现了无磁场超高分辨成像,可以最大化的实现各种分析,包括磁性样品的分析。新型镜筒中的电子光路设计增强了低能量电子成像分辨率,特别适合对电子束敏感样品和不导电样品的分析。创新的Orage™ Ga FIB镜筒配有最先进的离子枪和离子光学镜筒,使得TESCAN S8000G成为了世界顶级的样品制备和纳米图形成型的仪器。

S8000G束流可达100nA,具有超快速的加工能力,新颖的SmartMill高速切割功能,使得加工效率提升一倍。
S8000G离子能量最低可达500eV,拥有更优秀的低压样品制备能力,可以快速制备无损超薄TEM样品。
可以配置TESCAN自有或第三方的多种扩展分析附件,并独家实现与TOF-SIMS、Raman一体化。




新一代OptiGIS™气体注入系统

S8000可配置最新的多种探测器,包括透镜内Axial detector 以及 Multidetector,可选择不同角度和不同能量来收集信号,体现更多种类的信息,同时获得更好的表面灵敏度和对比度。S8000G有两种气体注入系统可供选择,标准的5针-GIS和新一代OptiGIS单针-GIS,单针的OptiGIS支持通过更换气罐来更换化学气体,避免了以往多针气体注入系统样品仓内占用空间大的问题。

两种气体注入系统均可以选择多种沉积气体,其中W、Pt、C等用于导电材料沉积,SiOx用于绝缘材料沉积,XeF2、H2O等用于增强刻蚀,或其它定制气体。





新一代Essence™操作软件,更简单、高效的操作平台

S8000可配置最新的多种探测器新操作软件极大简化了用户界面,能快速访问各主要功能,减少了繁琐的下单菜单操作,并优化了操作流程向导,易于学习,兼容多用户需求,可根据工作需要定制操作界面。

新颖的样品舱内3D空间位置和移动轨迹模拟功能,可避免误操作,造成碰撞。


样品舱内的3D空间位置和移动轨迹模拟



集成多项创新性设计,拓展新应用领域的利器

S8000可配置最新的多种探测器S8000G是TESCAN新一代FIB-SEM的首个成员,集成了BrightBeam™ SEM镜筒、Orage™ GaFIB镜筒、OptiGIS气体注入系统等多项创新设计,在高分辨能力、原位应用扩展能力和分析扩展能力方面达到了业内顶级水平,此外新一代操作流程和软件也给使用者带来更舒适、高效的体验。





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