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可充分利用SEM/ FIB-SEM的快速成像并同时获得SPM的信息!

内置 AFM/SPM



TESCAN旗下的场发射扫描电镜(MIRA, MAIA) ,共聚焦离子束扫描电镜(LYRA)及等离子共聚焦扫描电镜(FERA)都可以内置安装SPECS公司提供的Curlew™扫描探针显微镜。




Fig. 1: SEM image (left), SPM image (right)



要特点

可内置于FIB/SEM的样品台上;
闭环扫描;
三维定位;
自动尖端/传感器更换

优点:

不需要在浪费时间去回溯
在不影响样品室内探头和分析设备的情况下,
可完成分析

完全避免了在不同设备间移动样品时,对样品
的污染和氧化


Fig. 2: Photo-resist on the Si wafer. The Resist is modified
by e-beam lithography and resulting structure is investigated
by AFM imaging