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TESCAN 在电子束感应电流/电阻(EBIC)的测量和面扫中加了一种新的方式。完全内置的EBIC探头,可以快速便捷的实现所有软件允许的应用功能。而且TESCAN 使用了纳米探针作为新的EBIC探头的连接方式。创新的方式使得3维EBIC分析成为了现实。

新款FIB的功能:

      • 面扫获得的彩色感应电流图片可以与其他探测器获得图片叠加;
      • 可结合内置的纳米操作手进行操作;
      • 对EBIC点量化并进行线路纵断面(获取)分析;
      • 电路上电流-电压I(V)特性的测量;
      • 电流-时间I(t)相关性测量;
      • 结合FIB-SEM后可进行三维EBIC 断层扫描;

新款的EBIC可以进行两个范围的偏压以及三种的电流测量(诸如:测量电流-电压特性)。从EBIC探测器处获得的信号可以进行快速的信号面扫,也可以在扫描窗口内进行点、线测量。

此外,新的界面可以完成对测量的参数和图像进行综合的管理,如EBIC纵断面图,实时电流,电流-电压I(V)特性图。



结合双束聚焦扫描电镜系统(LYRA)或者等离子双束聚焦扫描电镜(FERA)使用后,可以很轻易的通过三维断层扫描获得EBIC三维图。



先进的彩色图像处理可以恩突出了图像分析的结果,在一个对话框内就可以看到全面的结果,实时的图表,IV测量结果,还有更多的软件扩展功能等。


TESCAN新款的EBIC探测器展现了最理想的对样品电特性的结果方案,如样品中PN结的位置,存在的缺陷,污染或是掺杂不均一等问题。