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电子束写入模块(EBL) 是一款技术已经成熟的配件,它可以在纳米级别上对指定的结构进行调整或修改。

电子束光刻技术的完整解决方案

TESCAN作为一家创新的扫描电子显微镜厂家,也为电子束光刻技术提供了完整的仪器解决方案。EBL在很长时间内都作为纳米尺度上创建结构的主要技术,因为它可以在光刻胶上创建最细微的结构。这个技术是为了进行集成电路开发,自旋电子学与光电子学结构等研发的,通过控制扫描电镜内的电子束获得。TESCAN提供非凡的光刻性能和高性能SEM,确保一流的综合性能全面整合,特别是硬件部分。这款产品作为所有TESCAN产品典型之一,TESCAN电子束写入模块包提供了最好的性价比,以及竞争对手无法比拟的解决方案。

TESCAN 电子束写入模块包 包括:
  • 写入软件专业版

  • 写入软件离线版

  • 束闸(通过控制电子束产生所需要的扫描方式)




  • LithoBox ----工具箱里包括了电子光刻所需的一些基本工具(用户可以立即开始使用电子光刻技术)

  • 用户手册----无论是专家或是毫无经验的用户,都能通过用户手册感受到TESCAN EBL提供的解决方案的优势