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EBL和FIB在自旋等离子体领域应用

自旋等离子体,是等离子体学的一个分支,主要研究电磁波与金属材料自由电子的相互作用。特别的,自旋等离子体还研究铁磁材料中的等离子体振子极化现象。对自旋等离子体的研究,有助于揭示电子和光子的物理互联,以实现高频数据传输。未来,使用具有纳米级自旋等离子体结构的信息传输器件,能够大大提高信息传输速度,因为这种器件能够在等离子振子所具备的超高频率下工作,其频率可与可见光的1015Hz 相比拟。

本文介绍了实验制备自旋等离子结构的方法:首先,通过电子束蚀刻(EBL)技术和膜剥离技术制备铁磁结构材料;然后采用聚焦离子束(FIB)对薄膜材料进行切割;最后,使用近场扫描光学显微镜(NSOM)对所制备的自旋等离子体结构进行研究。

使用的设备为:

FERA3 GM

FERA3 GM是一款由计算机完全控制的Xe等离子聚焦离子束(i-FIB)场发射扫描电子显微镜,可选配气体注入系统 (GIS),可在高真空和低真空模式下工作,其具有突出的光学性能、清晰的数字化图像、成熟和用户界面友好的SEM/FIB/GIS操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简单的电镜操作和图像采集,可以保存标准文件格式的图片,可以对图像进行管理、处理和测量,实现了电镜的自动设...