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轻松实现超快速样品制备和高分辨表征


当今半导体器件的物理故障分析已经成为一项极其复杂的任务,需要处理越来越小的具有更高密度和更高功能的器件。一般来说,随着新纳米技术和纳米材料的发展以及集成电路的设计和体系结构的日益复杂,这就需要高度可靠的分析平台,以跟上集成电路、光电器件的发展。TESCAN S9000X 是一个强大的采用氙等离子源的 FIB-SEM 平台,专门设计来应对这样的挑战。

S9000X Xe Plasma FIB-SEM

       TESCAN S9000X是一款氙(Xe)等离子超高分辨双束FIB-SEM系统,配置新颖的TriglavTM 超高分辨率电子镜筒以及最新款的iFIB+TM离子镜筒,它的超高分辨表征能力和无与伦比的样品制备效率,足以应对半导体和材料表征中最具挑战性的物理失效分析工作,实现大体积三维样品特性分析。        TESCAN S9000X 是半导体和材料表征中最具挑战性的物理失效分析应用的平台,具有极高